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儀器表面顆粒物分析儀

更新時間:2025-06-03
產(chǎn)品型號:FM-PS-SAS-V01
所屬分類:可視化顆粒檢測
描述:Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀,是一款基于“膠帶粘取"采樣技術(shù)的表面污染檢測工具,可通過間接測量方式識別小至 0.5um 的顆粒污染物。其配備的專用 PMC 采樣卡能在各類表面(包括難以觸及區(qū)域和高粗糙度表面)實現(xiàn)靈活采樣,且不會殘留可檢測的痕跡。該設(shè)備可在數(shù)秒內(nèi)完成 225 mm2 采樣區(qū)域的分析,確??焖佾@得精準(zhǔn)檢測結(jié)果。搭配 2 英寸晶圓支架,也可對沉降顆粒進行檢測,滿足跨行業(yè)復(fù)雜
詳情介紹

Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀(SAS)


Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀,是一款基于“膠帶粘取"采樣技術(shù)的表面污染檢測工具,可通過間接測量方式識別小至 0.5um 的顆粒污染物。其配備的專用 PMC 采樣卡能在各類表面(包括難以觸及區(qū)域和高粗糙度表面)實現(xiàn)靈活采樣,且不會殘留可檢測的痕跡。該設(shè)備可在數(shù)秒內(nèi)完成 225 mm2 采樣區(qū)域的分析,確??焖佾@得精準(zhǔn)檢測結(jié)果。搭配 2 英寸晶圓支架,也可對沉降顆粒進行檢測,滿足跨行業(yè)復(fù)雜場景的檢測需求。


產(chǎn)品特點

  • 符合 ISO 14644-9 標(biāo)準(zhǔn):在用戶界面生成具有認(rèn)證的 PDF 報告

  • 檢測范圍:可檢測低至 0.5 um 顆粒

  • 穩(wěn)定:90% 采集效率 | >90% 重復(fù)性

  • 快速:10 秒完成檢測


數(shù)秒內(nèi)完成表面清潔度測量

快速: 成像僅需數(shù)秒

定量: 可溯源的定量化結(jié)果

操作簡便: 操作結(jié)果不受操作人員影響

• 用于產(chǎn)線質(zhì)量管控的即時判定

• 用于研發(fā)人員的進一步數(shù)據(jù)分析

• 用于監(jiān)測、快速驗證和統(tǒng)計過程控制 

精準(zhǔn): 高分辨率測量(數(shù)量、位置、尺寸) 

穩(wěn)定: 多次測量結(jié)果高重復(fù)性 

高通量: 即時給出合格/不合格結(jié)果

儀器表面顆粒物分析儀

儀器表面顆粒物分析儀(SAS)

該系該儀器通過采樣器間接測量表面顆粒污染水平。使用采樣器方便 用戶隨時在各種產(chǎn)品和組件上采集顆粒污染樣本。


使用采樣器進行間接測量

使用采樣器甚至能對難以觸及的地方以及相對粗糙的表面進行可 靠測量。采樣器(來自經(jīng)過認(rèn)證的供應(yīng)商)不會造成交叉污染。


分析儀能在數(shù)秒內(nèi)完成對采樣器的檢測,這使測試工作流程可控制 在一分鐘以內(nèi)。采樣器可放在采樣器支架中運輸、重新測量和進一 步分析。


具有多種采樣器選擇,包括用于間接檢測的粘取采樣器(含支架)和 用于落塵檢測的2英寸晶圓套件。

這種適應(yīng)性使其適用于跨多個行 業(yè)的不同測試場景,能提供可靠測量數(shù)據(jù)并深入洞察污染水平。



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